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半导体工业废气处理, 采用燃烧法治理工艺

CenJiaCan2020-05-18【行业新闻】人已围观

简介半导体工业废气处理行业废气处理方法众多,本文提供常用的治理技术方案,有效解决半导体行业工业废气,净化效率95%以上,完全符合各地区的排放标准!

    半导体行业作为高新技术产业往往被人误解为清洁产业最常见的半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,包括许多有毒有害物质。这些有机溶剂大部分都存在挥发性有机气体。

 半导体行业污染工序

   对于这行业的半导体工业废气处理,处理工艺简单但是也被列为重污染行业,对于排放要求比普通有机废气的标准还要高。我们常用的治理方法是一种吸附浓缩燃烧法,该燃烧法治理工艺净化效率95%以上。

      

   我司多年治理半导体行业,近年最常用的净化方法是吸附浓缩在高温燃烧,这是一种新组合技术手段,原理是:使用吸附效率高活性强的蜂窝活性炭作为吸附剂,对废气中水蒸气的灵敏度不高,且价格便宜。通过活性炭吸附性能使有机废气吸附在表面,是有机废气聚集在一起,这个过程简称为:浓缩,是把有废气吸附在一个表面上转化成高浓度废气,当活性炭达到饱和状态时,便是失去吸附能力了,这个时候就要燃烧炉预热高温进行脱附再生,脱附下来的有废气可以浓缩到15倍,再利用催化剂作用当有机废气浓度达到一定的反应时会达到自然焚烧。该产品我司设计命名为:吸附脱附催化燃烧设备,产品运行原理详情我已做了转跳链接,链接地址:https://www.cenjiacan.com/clsb/35.html,(产品工程案列展示图)

 半导体工业废气处理工程案例图

   整个运行操作过程采PLC控制系统操作,既简单、实用、安全、简便。并且具有以下几个特点,1.低浓度的有机废气也可以使用,经过吸附剂的浓缩最高15倍,可达到反应起燃,2.饱和后的活性炭经过高温脱附可实现再生使用,并且更换时间可达到2-3年更换一次。3,有机废气达到一定的浓度时可实现自燃焚烧过程,大大减少耗材的成本。
 

   该产品使用范围广阔,包括喷漆废气处理行业、印刷废气处理行业、注塑废气行业、塑胶废气行业等工业废气处理。

Tags:半导体工业废气处理   工业废气处理

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